Tensely strained silicon on SiGe produced by strain transfer

Dan Buca(Forschungszentrum Jülich), H.‐E. Schaefer(University of Stuttgart), Matty Caymax(IMEC), Roger Loo(IMEC), B. Holländer(Forschungszentrum Jülich), R. Carius(Forschungszentrum Jülich), H. Trinkaus(Forschungszentrum Jülich), S. Mantl(Forschungszentrum Jülich)
Applied Physics Letters
September 27, 2004
Cited by 37


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