Optical study of self-annealing in high-current arsenic-implanted silicon

A. Borghesi(Inserm), E. Rimini(University of Catania), Chenjia Chen(Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Sezione di Pavia), S. U. Campisano(University of Pavia), A. Stella(Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Sezione di Pavia), L. Nosenzo(University of Pavia), G. Guizzetti(University of Pavia)
Journal of Applied Physics
October 1, 1985
Cited by 15


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