Nanoimprint lithography for a large area pattern replication

A. Lebib(Laboratoire d'Étude des Microstructures), H. Launois(Centre National de la Recherche Scientifique), E. Cambril(Université Paris-Sud), J. Bourneix(Centre National de la Recherche Scientifique), F. Carcenac(Centre National de la Recherche Scientifique), Y. Chen(Laboratoire d'Étude des Microstructures), Laurent Couraud(Centre National de la Recherche Scientifique)
Microelectronic Engineering
May 1, 1999
Cited by 74


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