In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

Humberto Campanella(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), J.A. Plaza(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), R. P. del Real(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid), J. Estéve(Institut de minéralogie, de physique des matériaux et de cosmochimie), Marina Díaz-Michelena(Alcoa (United States)), Marta Duch(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), V. de Manuel(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), I. Lucas(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), C. Serre(Universitat de Barcelona), H. Guerrero(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial)
Sensors and Actuators A Physical
February 20, 2010
Cited by 2


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