Comparative performance of static-mode ferrous MEMS gradiometers fabricated by a three-step DRIE process

Humberto Campanella(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), J.A. Plaza(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), R. P. del Real(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid), Marina Díaz-Michelena(Alcoa (United States)), Marta Duch(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial), J. Estéve(Institut de minéralogie, de physique des matériaux et de cosmochimie), H. Guerrero(Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial)
Journal of Micromechanics and Microengineering
May 21, 2010
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