Damage analysis and optical properties of Ge-implanted silicon

A. Borghesi(Inserm), G. Queirolo, D. Bisero, G. Guizzetti(University of Pavia), A. Piaggi(University of Pavia), A. Stella(Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Sezione di Pavia)
Journal of Applied Physics
June 1, 1990
Cited by 15


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