Properties of titanium oxide films obtained by PECVD

Nilson Cristino da Cruz(Universidade de Sorocaba), Mário A. Bica de Moraes(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)), B. C. Trasferetti(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)), Jianjun Wang(Shandong University), Sandra G. Castro(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)), Elidiane Cipriano Rangel(Universidade de Sorocaba), Celso U. Davanzo(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP))
Surface and Coatings Technology
April 1, 2000
Cited by 47


Related Papers