Ge Nano-Heteroepitaxy: From Nano-Pillars to Thick Coalesced Layers

Marouane Mastari(Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives), Oleg Kononchuk(Soitec (France)), Anne‐Marie Papon(Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives), Raluca Tiron(Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives), Nicolas Chevalier(Inserm), Didier Landru(Soitec (France)), Patricia Pimenta‐Barros(Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives), Jean‐Michel Hartmann(Institut polytechnique de Grenoble), Maxime Argoud(Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives), Young‐Pil Kim(Soitec (France)), M. Charles(University of Iowa)
ECS Transactions
September 30, 2022
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