Innovative low temperature plasma approach for deposition of alumina films

Felipe Augusto Darriba Battaglin(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), M.H. Tabacniks(Universidade Cidade de São Paulo), Luciano Caseli(Universidade Federal de São Paulo), Nilson Cristino da Cruz(Universidade de Sorocaba), Elidiane Cipriano Rangel(Universidade de Sorocaba), Ricardo Shindi Hosokawa(Universidade de Sorocaba), Tiago Fiorini da Silva(Universidade de São Paulo)
Materials Research
December 1, 2014
Cited by 4


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