Amorphous hydrogenated carbon films treated by SF<sub>6</sub>plasma

Nazir M.S. Marins(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), Elidiane Cipriano Rangel(Universidade de Sorocaba), R. Mota(Universidade Federal de Santa Maria), M. A. Algatti(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), Nilson Cristino da Cruz(Universidade de Sorocaba), D.C.R. Santos(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), Konstantin Georgiev Kostov(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), R. Y. Honda(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), M. E. Kayama(Departamento de Ciência e Tecnologia)
Journal of Physics Conference Series
May 1, 2009
Cited by 1


Related Papers