Amorphous hydrogenated fluorinated carbon films produced by PECVD

Steven F. Durrant(Universidade de Sorocaba), Mário A. Bica de Moraes(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)), Nilson Cristino da Cruz(Universidade de Sorocaba), Elidiane Cipriano Rangel(Universidade de Sorocaba), Sandra G. Castro(Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP))
Surface and Coatings Technology
December 1, 1996
Cited by 23


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