Properties of hydrogenated amorphous carbon films deposited by PECVD and modified by SF6 plasma

Nazir M.S. Marins(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), Elidiane Cipriano Rangel(Universidade de Sorocaba), P.A.P. Nascente(Universidade Federal de São Carlos), R. Mota(Universidade Federal de Santa Maria), M. A. Algatti(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), Nilson Cristino da Cruz(Universidade de Sorocaba), Konstantin Georgiev Kostov(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), R. Y. Honda(Universidade Estadual Paulista (Unesp)), M. E. Kayama(Departamento de Ciência e Tecnologia)
Surface and Coatings Technology
July 7, 2011
Cited by 18


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