Methods to improve reliability of bulge test technique to extract mechanical properties of thin films

Hicham Youssef(Centre National de la Recherche Scientifique), R. Plana(Centre National de la Recherche Scientifique), Pierre Calmon(Centre National de la Recherche Scientifique), Audrey Ferrand(Université Toulouse III - Paul Sabatier), P. Pons(Centre National de la Recherche Scientifique)
Microelectronics Reliability
August 8, 2010
Cited by 15


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